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彤程新材拟投建ArF高端光刻胶研发平台项目

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  上证报中国证券网讯(记者 孔子元)彤程新材通告,公司从现实生产谋划需求出发,决议通过公司全资子公司彤程电子在上海化学工业区内使用自筹资金6.9853亿元,投资建设“ArF 高端光刻胶研发平台建设项目”,项目预计于2023年终建设完成。该项目主要研究 ArF 湿法光刻胶工业化生产手艺开发,通过确立尺度化的生产及控制流程,提升高端光刻胶的质量控制水平,实现193nm 湿法光刻胶量发生产;同时,逐步确立先进的集成电路及配套质料开发与应用评价平台。

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